
นับตั้งแต่กำเนิดของซิลิคอนคาร์ไบด์ ความแข็งสูงและความเสถียรที่อุณหภูมิสูงมีรากฐานมาจาก "NDA" มันถูกใช้เป็นวัสดุขัดและทนไฟในปริมาณมากในอุตสาหกรรมต่างๆ ด้วยความก้าวหน้าของเทคโนโลยีการสังเคราะห์ SiC จึงถูกนำมาใช้ในด้านเซมิคอนดักเตอร์ LED ความสว่างสูงตั้งแต่ปลายศตวรรษที่ 20 ในช่วงทศวรรษที่ผ่านมา ซิลิคอนคาร์ไบด์ได้รับแรงหนุนจากการเติบโตอย่างแข็งแกร่งของอุตสาหกรรมเกิดใหม่ เช่น ยานพาหนะพลังงานใหม่ การจัดเก็บพลังงานไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ และการสื่อสาร 5G จึงมีความต้องการเพิ่มขึ้น
บทความต่อไปนี้จะบอกคุณลักษณะ เกรด การสังเคราะห์ และการใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ เพื่อช่วยให้คุณเข้าใจเรื่องนี้ได้อย่างลึกซึ้งยิ่งขึ้น
ลักษณะของวัสดุ
● ทนต่ออุณหภูมิสูง: แม้ที่อุณหภูมิ 1600-1650°C คุณสมบัติทางกลและรูปร่างของชิ้นส่วนเซรามิก SiC ก็ยังคงอยู่ได้ดี
● ค่าการนำความร้อนสูง: สามารถเข้าถึง 120~200 W/km รองจาก อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) และเบริลเลียมออกไซด์ (BeO) เท่านั้น
● ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ (CTE): SiC (4.0~4.5-6/K) เป็นหนึ่งในเซรามิกอุตสาหกรรมที่มีการขยายตัวทางความร้อนใกล้เคียงกับชิป Si มากที่สุด (2.5 ~4.2 x 10-6/K)
● ความแข็ง / ความต้านทานต่อการเสียดสี: ความแข็ง Mohs อยู่ที่ 9.5 ซึ่งต่ำกว่าเพชรเล็กน้อย (10) เล็กน้อย
● ความต้านทานการกัดกร่อน: เป็นหนึ่งในผลิตภัณฑ์เฉื่อยทางเคมีมากที่สุดในบรรดาเซรามิกขั้นสูงทั้งหมด ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงต่างๆ มันสามารถต้านทานความชราได้
● อื่นๆ: น้ำหนักเบา (3.1~3.2g/cm 3 ) โมดูลัสยืดหยุ่นสูง (400~450GPa) การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่ดีเยี่ยม ไม่เปียกหรือกัดเซาะโดยโลหะหลอมเหลวส่วนใหญ่ คุณสมบัติของเซมิคอนดักเตอร์ ฉนวนไฟฟ้าที่ดี และไม่เป็นพิษ
เกรดและการสังเคราะห์
ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุพื้นฐานสำหรับส่วนประกอบโครงสร้างเซรามิก เกรดของมันถูกแบ่งส่วนใหญ่ตามกระบวนการเผาผนึกและระดับของความหนาแน่นดังนี้:
1. ชนิดเผาผนึกไร้แรงดัน (SSiC)
● วิธีการสังเคราะห์:
การทำให้หนาแน่นขึ้นทำได้โดยการเผาผนึกแบบโซลิดเฟสที่อุณหภูมิสูงและความดันบรรยากาศ โดยการเติมสารช่วยในการเผาผนึก เช่น โบรอนและคาร์บอน นี่เป็นกระบวนการที่พบบ่อยและประหยัดที่สุด
● ประสิทธิภาพ:
ความหนาแน่นสูง (ความหนาแน่นทางทฤษฎี≥98%) ความแข็งแรง ความแข็ง ความต้านทานการสึกหรอ และความต้านทานการกัดกร่อนดีเยี่ยม
● การใช้งาน:
แหวนซีล แบริ่ง หัวฉีด ไลเนอร์ที่ทนต่อการสึกหรอ เฟอร์นิเจอร์เตาเผา (saggers ลูกกลิ้ง) ฯลฯ

2. ชนิดพันธะปฏิกิริยา (RBSiC)
● วิธีการสังเคราะห์:
หลังจากผสมและขึ้นรูปผง α-SiC และผงคาร์บอนแล้ว ทั้งสองจะทำปฏิกิริยากับซิลิคอนหลอมเหลวหรือไอซิลิคอนที่อุณหภูมิสูงเพื่อสร้าง β-SiC ซึ่งเติมเต็มรูขุมขนและทำให้มีความหนาแน่นขึ้น
● ประสิทธิภาพ:
ความหนาแน่นสูง การเสียรูปของการเผาผนึกในอุดมคติ ความแม่นยำของขนาดสูง รอบการเตรียมการที่สั้น และต้นทุนต่ำ แต่วัสดุมักจะประกอบด้วยซิลิคอนอิสระจำนวนเล็กน้อย ซึ่งจะจำกัดอุณหภูมิการทำงานสูงสุด (ประมาณ 1,350°C) เนื่องจากซิลิคอนจะละลาย
● การใช้งาน:
ส่วนประกอบที่ต้องการความแม่นยำในมิติสูง เช่น ซีลเชิงกลที่มีความแม่นยำ ขายึดเครื่องทำความร้อนในอุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ ลูกกลิ้ง ฯลฯ
3. ชนิดตกผลึกซ้ำ (R-SiC)
● วิธีการสังเคราะห์:
กระบวนการเผาผนึกแบบไร้แรงดันซึ่งใช้การถ่ายโอนมวลการระเหย-การควบแน่นของ SiC ที่อุณหภูมิสูงเพื่อให้เกิดการเจริญเติบโตและการยึดเกาะของเมล็ดข้าว โดยไม่ต้องเติมสารช่วยเผาผนึกใดๆ
● ประสิทธิภาพ:
บริสุทธิ์อย่างยิ่งและปราศจากกระจก ให้ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม (สามารถใช้งานได้ในระยะยาวที่สูงกว่า 1600°C) และต้านทานต่อออกซิเดชันและการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันได้ดีเยี่ยม อย่างไรก็ตาม มีความพรุนสูง (ประมาณ 15%-20%) และมีความแข็งแรงเชิงกลค่อนข้างต่ำ
● การใช้งาน:
เฟอร์นิเจอร์เตาเผาคุณภาพสูง (เช่น ส่วนรองรับและคาน) หัวฉีดหัวเผา ท่อแลกเปลี่ยนความร้อน และการใช้งานอื่นๆ ที่เกี่ยวข้องกับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีออกซิเจนสูง
4. ชนิดกดแบบไอโซสแตติกแบบร้อน (HIPSiC)
● วิธีการสังเคราะห์:
การเผาผนึกจะดำเนินการที่อุณหภูมิสูงโดยใช้ความดันสูงมาก (การกดร้อน) หรือก๊าซแรงดันสูงแบบไอโซโทรปิก (การกดไอโซสแตติกแบบร้อน) โดยทั่วไปจะมีการเพิ่มตัวช่วยในการเผาผนึก
● ประสิทธิภาพ:
การได้รับความหนาแน่นตามทฤษฎีเกือบ 100% พร้อมด้วยเกรนที่ละเอียดและสม่ำเสมอ ส่งผลให้มีคุณสมบัติทางกลสูงสุด (ความแข็งแรงและความเหนียว) ในทุกเกรด
● การใช้งาน:
ใช้ในการใช้งานที่มีความต้องการด้านประสิทธิภาพที่ต้องการอย่างมาก เช่น การชุบเกราะ ส่วนประกอบที่สำคัญด้านการบินและอวกาศ และเครื่องมือตัดคุณภาพสูง เนื่องจากมีราคาสูง ขอบเขตการใช้งานจึงมีจำกัด
การใช้เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์
เนื่องจากเกรดต่างๆ ของซิลิคอนคาร์ไบด์มีคุณสมบัติที่แตกต่างกันออกไป จึงสามารถปรับให้เข้ากับอุตสาหกรรมเฉพาะเจาะจงได้อย่างแม่นยำ และเปลี่ยนเป็นโซลูชันทางธุรกิจของคุณได้ ตารางต่อไปนี้แสดงรายการแอปพลิเคชันที่เกี่ยวข้องตามประสิทธิภาพ ซึ่งเราหวังว่าจะเป็นประโยชน์
คุณสมบัติหลัก | อุตสาหกรรมเป้าหมาย | อะไหล่จริงในการใช้งาน |
ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม | การทำเหมือง พลังงาน สารเคมี | ● หัวฉีด: การพ่นทราย, การตัดด้วยพลังน้ำ
|
การผลิตรถยนต์และเครื่องจักร | ● ซีล: ซีลเพลาสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรง ● ใส่จาน | |
ความแข็งแรงทางกลและความแข็งแกร่งที่ดีเยี่ยม | ปั๊ม วาล์ว และเครื่องจักรของเหลว | ● ซีลเครื่องกล: ใช้ในปั๊มเคมีและปั๊มหลายขั้นตอน ● ลูกปืนและลูกกลิ้ง: ใช้ในสปินเดิลความเร็วสูงและเครื่องมือกลที่มีความเที่ยงตรงสูง ● ปลอกปั๊มและปลอกกันดัน: ส่วนประกอบหลักของปั๊มขับเคลื่อนแบบแม่เหล็ก |
กลาโหมและการบินและอวกาศ | วัสดุเกราะน้ำหนักเบา: ใช้ความแข็งสูงและความแข็งแรงสูงในการต้านทานแรงกระแทก | |
ทนต่ออุณหภูมิสูงและความสามารถในการจัดการความร้อนได้ดีเยี่ยม | โลหะวิทยา แก้ว เซรามิก | ● อุปกรณ์เสริมเตาเผา: เฟอร์นิเจอร์เตาเผา (ส่วนรองรับ คานขวาง แผ่นดัน) เตาเผา ● หัวฉีดหัวเผา: ส่วนประกอบหัวเผาประสิทธิภาพสูงและประหยัดพลังงาน |
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ | ● ส่วนประกอบในการประมวลผลเวเฟอร์: จานเจียร อุปกรณ์จับยึด แป้นอบอ่อน และถาดเอพิเทแอกเชียล ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเรียบและการปนเปื้อนของเวเฟอร์ซิลิคอนต่ำในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง | |
ความเฉื่อยทางเคมีที่ดีเยี่ยม | อุตสาหกรรมเคมี น้ำมันและก๊าซ | ● วงแหวนซีลและซีลเชิงกล: ใช้ในปั๊มที่ต้องจัดการกรดแก่ (กรดซัลฟิวริก กรดไฮโดรคลอริก) และด่างแก่ ● บอลวาล์วและบ่าวาล์ว: ควบคุมการไหลของสารที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ● เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน: ใช้สำหรับการถ่ายเทความร้อนในสภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อนสูง |
การนำความร้อนสูงและคุณสมบัติทางไฟฟ้า | อิเล็กทรอนิกส์กำลังและอุปกรณ์กึ่งตัวนำ | ● พื้นผิวของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์: แผงระบายความร้อนสำหรับ LED กำลังสูงและโมดูล IGBT ● อุปกรณ์การผลิตเวเฟอร์: หัวจับและเครื่องทำความร้อนแบบไฟฟ้าสถิต |
การตรวจจับและการควบคุมทางอุตสาหกรรม | ● ชุดเครื่องทำความร้อนและเซ็นเซอร์: อุปกรณ์บำบัดความร้อนที่อุณหภูมิสูง |
ข้อสรุป
กล่าวโดยสรุป ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุเซรามิกขั้นสูงที่มีความอเนกประสงค์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในแง่ของความต้านทานการสึกหรอ ประสิทธิภาพทางความร้อน และความเฉื่อยทางเคมี ซึ่งเหนือกว่าเซรามิกเชิงวิศวกรรมอื่นๆ มาก มีวิธีสังเคราะห์ที่หลากหลาย ส่งผลให้ได้ผลิตภัณฑ์เกรดต่างๆ ที่มีคุณสมบัติเฉพาะตัว ชิ้นส่วนซิลิคอนคาร์ไบด์ทำให้เกิดสถานการณ์การใช้งานที่ท้าทายมากมาย ช่วยให้สามารถทะลุขีดจำกัดที่สูงขึ้น และมอบโซลูชันต้นทุนรวมที่ดีกว่า
JingHui Industry เป็นซัพพลายเออร์มืออาชีพของส่วนประกอบซิลิคอนไนไตรด์คุณภาพสูงที่ทำจากวัสดุเกรดต่างๆ กรุณาส่งคำถามถึงเราหากคุณสนใจ
